低溫等離子廢氣處理設備，低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭受到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有的消毒殺菌之功效。
低溫等離子體技術是一個集物理、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性技術，該技術顯著特點是對污染物兼具物理效應、化學效應和生物效應，且有能耗低、效率高、五二次污染等顯著優點。
其凈化作用機理包含兩個方面：
一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；
二是等離子體中包含大量的高能、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。有機當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成的無害氣體分子。同時產生大量的OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*強的O3，與有害氣體分子發生化學反應，終生成無害產物。
低溫等離子體中的高能電子可使電負性高的氣體分子（如氧分子、氮分子）帶上電子而成為負離子，它具有許多良好的效應，對人體及其他生物的生命活動有著十分重要的影響，被人們譽為“空氣維生素”、“長壽素”
